桌上型掃描電子顯微鏡
temic EM200S desktop SEM
 
唯一可同時搭載BEI/SEI/STEM三影像系統
新一代透鏡系統 多種增強拍攝模式
超高真空系統 長效型燈絲光源
可整合連續自動分析系統 與 成分分析能譜偵測器

 

特點介紹 Features

EM200S  專屬配備(選配)

STEM  Detector
 

   

 
背向散射電子影像 高角度穿透電子影像 低角度穿透電子影像
規格 Specification
桌上型掃描電子顯微鏡
temic EM200S desktop SEM
 















唯一可同時搭載BEI/SEI/STEM三影像系統
新一代透鏡系統 多種增強拍攝模式
超高真空系統 長效型燈絲光源
可整合連續自動分析系統 與 成分分析能譜偵測器


 

特點介紹 Features

EM200S  專屬配備(選配)

STEM  Detector
 

   

 
背向散射電子影像 高角度穿透電子影像 低角度穿透電子影像
規格 Specification
 

EM200S(進階款-雙偵測器版)

電子源
熱遊離式六硼化鑭陰極 
加速電壓
5 kV / 8 kV / 10 kV / 12 kV / 15 kV
螢幕放大倍率
60x – 120,000x
相片放大倍率
30x – 60,000x
偵測器
BSED
SED
STEM (選配)
最高影像畫素
3200 x 2400
樣品移動載台
二軸自動PZT壓電陶瓷馬達載台 (X, Y)
樣品大小
直徑 60 mm, 高30 mm
長 150 mm, 寬 60 mm, 高 30 mm
工作距離
WD 10 mm
真空幫浦
無油乾式迴旋
渦輪分子幫浦
離子幫浦
極限真空度
電子槍 10-7 torr
樣品腔體 10-4 torr
 


EM200S 可選配功能模組

功能模組
規格
 
電動樣品傾轉載台
電控步進馬達  角度範圍±60º(T)  傾轉精度0.1°
樣品最大尺寸 : 45mm(L)x25mm(W)x10mm(H)
樣品重量<50g
點擊 選購組合表
溫控樣品加熱載台
溫度範圍 : 室溫至300°C
樣品最大尺寸 : 直徑10 mm, 高5 mm
引電偏壓量測載台
電壓範圍 : ±50VDC 最大電流 : 500mA
成分分析能譜儀 新式微型EDS偵測器  免液態氮
自動掃描拼接大圖模組 拼接輸出最大畫素 : 8k x 8k pixels
掃描區域數目 : 2x2 / 3x3 / 4x4 / 5x5
形貌分析家軟體 四種核心演算法(開孔/骨架/粒徑/分散)統計分析圖表輸出
粒徑分析/三維立體量測 可選購第三方分析軟體 完美格式相容 自動圈選量測
製作粒徑分佈圖或三維立體重購粗糙度量測
被動氣浮式減震台 桌上型被動氣浮式減震台
 
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